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PGI 輪廓儀高精度三維形貌分析信息

更新時(shí)間:2025-12-19      瀏覽次數(shù):384

輪廓儀代表了表面形貌測量技術(shù)的水平,專為高精度、高分辨率的二維/三維輪廓與粗糙度分析而設(shè)計(jì)。PGI 采用獨(dú)特的相位光柵干涉原理結(jié)合接觸式探針技術(shù),能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)納米級垂直分辨率和毫米級測量范圍,在光學(xué)元件、半導(dǎo)體、精密軸承及醫(yī)療器械等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。

PGI 輪廓儀的核心優(yōu)勢在于其超高精度與多功能性。其垂直分辨率可達(dá)0.1 nm,橫向分辨率優(yōu)于0.1 µm,可精確捕捉微小表面特征,如劃痕、波紋度、臺階高度等。系統(tǒng)支持全自動(dòng)測量流程,包括自動(dòng)調(diào)平、自動(dòng)對焦和路徑規(guī)劃,大幅減少人為誤差。配合 Taylor Hobson *的 Metrology 軟件平臺,用戶可進(jìn)行復(fù)雜的形貌分析、濾波處理、參數(shù)計(jì)算及合規(guī)性評估,滿足 ISO 11562、ISO 13565 等國際標(biāo)準(zhǔn)要求。

PGI 系列還提供多種探針配置和可選附件,適用于不同材質(zhì)和幾何形狀的樣品。其模塊化設(shè)計(jì)便于升級與維護(hù),支持與其他計(jì)量設(shè)備集成,構(gòu)建完整的質(zhì)量控制體系。

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